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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

活动大环境 某中大型光电器件加工的单位靠近长半圆地方,主耍的生产销售晶圆和集成ic。在的生产销售期间中,晶圆切开和打磨抛光步骤诞生大规模研磨抛光液电镀废水,平均水污染物量约50吨。因为电镀废水面包含高密度悬浮按钮物、金属材质铁离子及生产添加图片剂,进行水污染物会对自然环境造嚴重水污染,的单位急用基础建设专业课程治疗安全设施。 废水处理方法材质及特征 考虑液废液主要是是来自于晶圆加工制作中的化学上机戒cnc精密机械加工(CMP)工步,主要是是弄脏物涵盖: 浮窗顆粒物 :二被钝化硅、被钝化铝等考虑颗粒肥料,粒度在0.1-1μm,溶度可高达2000mg/L。 五金亚铁离子 :铜、铁、锌等,位于打蜡 垫刹车盘磨损及晶圆外层金属材料层,铜正离子氧浓度约50mg/L。 巧妙“着色剂 :比如表面上活性氧剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱平衡性物品 :pH值起伏大,大部分在2-11直接。 治理 工艺流量流量 根据废渣性状,用到“预操作+生化学+淬硬层操作”结构新工艺: 转换池 :教育均衡发展水质量容量,增添酸碱性调结pH至一般的中性。 混泥土积淀 :污泥脱水PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),我们要除飘浮物和胶体溶液,沉降后SS我们要除率>90%。 促使阳极氧化 :运用Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解有机的增添剂,COD避开率达60%。 生物技术整理 :MBR膜生物技术发生流化床反应器进一大步挥发余下有机物,COD降下来100mg/L低于。 阳离子置换 :转用树脂材料吸附剂铜铝离子,水流铜含碳量<0.5mg/L。 砂滤+渗透性炭吸附 :确保出液浑浊,超过《将污水整合排出要求》(GB8978-1996)3级要求。 进而成效 操作系统使用平稳后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。 回收利用率达40%,已用考核标准尾气排放口,年极大减少废污水尾气排放口1.6万吨。 加工处理利润约15元/吨,远低过业均值。

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