半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
活动题材
该中小企业的是在河北省南京市,主要是开展高档半导体器件存储芯片的打包封装测验,日排放口量废供水量约200吨。根据生产制造过程中 中选用多种类无机化学化剂,化工废水化学成分很复杂,带有高质量浓度铜、镍等天价属各类环氧防锈漆不饱和树脂、光刻胶等有机物水污染物质。中小企业的以往治理公用设施無法具备最近排放口量的标准,人们非常版本升级改进。
生活污水基本成分及源
电镀层废水处理方法
:原因于存储芯片引脚化学镀流程,带有铜、镍、锡等巨资属阴阳离子,pH值振幅大。
有机化学化工废水
:关键出于封装类型胶凝固、光刻加工,含带硅橡胶硅橡胶、异丙醇、甲苯等有机酸稀释剂。
耐酸碱废水处理工艺
:会产生于晶圆洗掉和蚀刻生产工序,含带盐酸、浓盐酸、氢氧化反应钠等。
操作制作工艺步骤流程
预净化处理关键期
酸碱度中合
:用投加药剂系統改善pH至6-9,防止事件补救机器设备金属腐蚀。
水泥混凝土沉淀自己
:污泥脱水PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),祛除悬浮按钮物和这部分天价属。
目标办理的时候
高等 空气氧化
:主要包括Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解掉难挥发有机的物,COD剔除率达70%上。
膜进行过滤
:ro反渗透法膜(UF)+ro反渗透法(RO)搭档艺,进1步挪作他用天价属和融解性有机化学物。
深层次治疗阶段性
铝离子对换
:专门重要性重要性铜、镍亚铁离子,以保证出液巨资属含锌量如果低于0.5mg/L。
可溶性炭吸附物
:最为从而保障机制,清掉农药残留轻微巧妙物。
终于成果
经办理后,冒水水源做到《电子元器件企业水造成的空气污染物直接排放基准》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,工业废水处理率优化至60%,常年减少使用水进行制造费约80千元。