半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
业务环境
该各个商家的为国际技术型的半导体设备公测各个商家的,靠近珠江三角型省份,其主要进行舒适处理器的片区和封口检测。伴随本县环保节能追求苛刻,各个商家的决定了执行化工废水零尾气排放标准工程施工。楼盘于2030年开始,202两年多6月完成投运,处理大小为200吨/日,总项目投资约2000万美元。
工业废水组成及来自
某项意图划区化工废水体现了下面特质:
高密度氟化物,包括产于晶圆割切后的的洗涤流程,氟阴阳离子密度高至150-200mg/L
所含微米级硅粉颗粒物,粒度多在100-500nm之間
充分负荷率较高,COD在500-800mg/L
包含少量巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
处理工艺设备流程图
为控制零释放目的,艺结构设计侧重点要考虑废液细分收录和材料收售:
废渣类型收藏平台
:将含氟焦化废水处理与其他焦化废水处理分别分类整理
化学物质滤渣除氟
:通过两极钙盐滤渣法,做好高滤渣池
高等阳极氧化正确处理
:O3促使氧化物可降解难净化处理有机酸物
膜浓缩造成控制系统
:按照DTRO碟管式反融入,浓缩液因数为10倍
蒸馏成果
:MVR物理蒸汽式再压缩视频化掉器净化处理浓水
皮肤干燥系统的
:将结晶体盐干澡后做为化学工业副好产品外售
处置特效
软件操作数据报告呈现:
氟化物洗去率>99.9%,喷水氟阴离子<1mg/L
COD总除去率>98%,水流COD<20mg/L
自然资源的收旧率>95%,仅发生大量心得盐
次年回收塑料并高品级回收水约六万吨
晶体盐色度高达工业品级规格,保证 资原化合理利用
活动不仅仅进行了工业废水零直接排放,还能够資源回笼创造者了约80万余元/年的更多收益的。