该晶圆生孩子加工厂在华东位置位置,最主要生孩子85英寸半导晶圆,每日污废水 减排量约800吨。鉴于生孩子期间中便用丰富氢氧化钠做好晶圆蚀刻,造成的污废水 中氟化物含量高达mg200-300mg/L,远超祖国减排要求(10mg/L之下)。
废水处理方法化学物质及的来源
废污水基本产自多个要素:
晶圆蚀刻道工序
:含高密度氟化物(HF)、硝酸铵及一少部分巨资属
无机化学机戒增加光泽(CMP)电镀废水
:含微米级硅颗粒剂、有机肥料络合剂
设施清洁废液
:含异丙醇、氯离子等无机物
治疗加工制作工艺 方案
运用"药剂学结晶+沥青混凝土结晶+深度.油烟净化器"三级视频办理设备:
四级处置
:污泥脱水氯化钙和氢脱色钙,组成氟化钙水解,氟化物清除率达85%
五级治理
:移除PAC(整合氯化铝)和PAM(PP酰胺),出掉溶液态环境破坏物
3级处里
:根据多材质过滤系统器和活力性炭吸附物,出液氟化物浓硫酸浓度安全稳定在8mg/L以上
重点仪器包涵:pH自动式调整装置、斜管析出池、板框压滤机厂家(活性污泥脱干)。
从而成效
新项目操作四年监测数值数值界面显示:
氟化物评均盐浓度:7.2mg/L(不超祖国标)
COD清掉率:92%
飞灰水分含量率:≤65%
年环保再生网络资源回收氟化钙副好产品约150吨,保证 网络秸秆综合进行进行