沪某半导体行业心片制作厂，晶圆制造整个过程中导致含硅、氟的特俗化工废水治疗方式 ，设计处置范围1200吨/日。化工废水治疗方式 因素错综复杂，包含nm级硅顆粒及盐酸，传统艺术处置方式 难易达到标准。 废水处理工艺含量及主要来源 基本生态破坏物 ：溶液硅（100-500nm孔径）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 起源流程 ：晶圆刻蚀化工废水处理方法（45%）、CMP生物学自动化环保设备cnc精密机械加工化工废水处理方法（40%）、环保设备清洗道路水（15%） 正确处理工序程序流程 自主创新所采用"催化沉垫+机械膜剥离 "高技术自驾路线： 钙盐水解 ：污泥脱水氯化钙避开氟亚铁离子（转为CaF2积淀） 水解酸化池化学反应 ：复合型水解酸化池剂进行氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挤占微细颗粒物 反融合设备 ：脱盐率>98%，环保再生资源回产出率75% 蒸发掉成果 ：浓水段实现了氟化物零减排 不可能作用 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（小于国内考试内容一级标准规范10mg/L） 硅含量的：<5mg/L 水物资回收率：70%于蒸发塔补湿 危废处理抑制：减压蒸馏残留量较中国传统加工制作工艺 抑制60%